Какие проблемы возникнут в процессе резки кремниевых пластин?

Требования к резке кремниевых пластин очень высоки, и только превосходный технологический уровень от резца может создать идеальное производство. Сама порезка кремниевых пластин - дело непростое, в этом могут возникнуть различные проблемы. Все мы должны заметить в операции.

1. След примесной линии: вызванный примесью в поликристаллическом кремниевом слитке, который не может быть полностью удален в процессе нарезки, что приводит к появлению связанной следовой линии на кремниевой пластине.

2. След линии царапин: вызван крупными частицами SIC или затвердеванием раствора в ступке. В процессе резки частицы SIC «застревают» между стальной проволокой и кремниевой пластиной и не могут зазубриться, что приводит к образованию следов линии.

Выразительная форма: включает в себя всю линию линии и линии линии, вогнутые, блестящие линии линии, уже, чем другие линии линии.

3. Плотно покрытый след линии (интенсивный след линии): из-за недостаточной способности к шлифованию раствора или из-за проблем с системой петель раствора, что приводит к появлению области интенсивного следа линии на кремниевой пластине.

4. Линия след неполучения: оно генерируется, потому что есть ступка и другие посторонние вещества на гидравлическую поверхности зажимного устройства от ломтерезки или остаточного клея на опорной плите, в результате чего, что гидравлическое устройства и опорная плиту не может полностью зажим и поддерживающая пластина винт теряет.

Во всем процессе резки факторы, которые играют ведущую роль в качестве кремниевой пластины и скорости готовой продукции, включают вязкость жидкости для резки, тип и размер частиц микропорошка карбида кремния, вязкость раствора, расход раствора, скорость стальной проволоки натяжение стальной проволоки, скорость подачи заготовки и т. д.

Трассировка линии и TTV: Трассировка линии и TTV - довольно головная боль, с которой сталкиваются во время обработки кремниевых пластин, и могут время от времени появляться, которую невозможно эффективно защитить. TTV появляется во время входа ножа, в то время как след линии легко появляется во время отвода дуги линии.