Исследования по новой технологии шлифовального станка

С быстрым развитием технологий требования к качеству электронных компонентов становятся все выше и выше. Для улучшения качества продукции требуется строгий контроль со всех сторон проектирования, производства, контроля и транспортировки. При производстве устройств на основе поверхностных акустических волн высокое качество и высокая эффективность каждого процесса являются предпосылками для эффективной работы всей производственной линии. В качестве первого шага в процессе производства устройств на поверхностных акустических волнах качество и эффективность процесса нарезки шлифовальных кругов напрямую влияет на качество конечного продукта, а производительность и производительность всей производственной линии и его важность становятся все более и более очевидно.

Основная проблема при резке колесом нарезки машины заключается в следующем.

Материалы, используемые в полупроводниковой промышленности, представляют собой твердые и хрупкие материалы, отличающиеся от обычного шлифования. После многих испытаний мы получили (1), когда скорость шпинделя и глубина резания зафиксированы, скорость подачи резания уменьшается, а ширина пути резания уменьшается. (2) Когда скорость подачи резания и глубина резания фиксированы, скорость шпинделя увеличивается, а ширина полосы резания уменьшается. (3) Ширина линии разметки с использованием режима цистерны меньше, чем ширина линии разметки в режиме обратной резки. Меньшие усилия резания и меньшая ширина резания достигаются благодаря плавной, медленной скорости подачи резания, меньшей глубине резания и более высокой скорости шпинделя. (4) Из-за влияния толщины лезвия пассивация или скорость подачи лезвия не подходят, а осевая вибрация режущего станка приводит к тому, что ширина режущей дорожки становится большой. (5) Режим работы процесса резки, тип лезвия, условия резки, размер вибрации, материал заготовки и параметры резки являются неподходящими, что может быть фактором, вызывающим чрезмерное растрескивание подложки.

Принцип резки твердых и хрупких материалов

Принцип резки твердых и хрупких материалов существенно отличается от металлических. Твердые и хрупкие материалы имеют высокую твердость и хрупкость. Их физико-механические свойства, особенно прочность и прочность, сильно отличаются от свойств металлических материалов. Вязкость разрушения и прочность разрушения представляют свойства материала. Принцип удаления материала обычно можно разделить на хрупкое разрушение и пластическую деформацию. Как правило, устранение хрупкого разрушения осуществляется путем образования или расширения пустот и трещин, отколов и сколов. Способ удаления пластической деформации аналогичен процессу образования стружки при шлифовании металла, а материал, в том числе царапины и образование стружки, удаляется путем образования стружки. Как показано на Рисунке 3-1, когда возникает тип хрупкого разрушения, трещина возникает вблизи границы контакта за абразивным зерном и растет в поперечном направлении, образуя раскол. Как показано на рисунке 3-2, пластическая зона пластически деформирована. Он производится перед и под абразивными зернами и расширяется, образуя зону сдвига, которая генерирует сколы и удаляет материал, чтобы улучшить состояние поверхности.